描述
FLS 106型IC扫描仪可以在电子组件的集成电路上方,借助ICR-近场微探头对频率在6GHz以内的高频磁场或电场进行高分辨率(50-100µm)测量。 使用近场探头和带有SH 01探头支架的场源使用ICR-探头(旋转单元) 工作状态下对集成电路的采样,四轴定位系统可提供一个扫描台 GND/CB 和附件,进行测试时用到的其他附件也包含在供货范围内。
配置附件 |
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简要规格
电源电压 | 110 V / 230 V |
接口 | USB |
x,y,z 轴 | |
过程路径Max | (400 x 600 x 125) mm α-Rotation ±180° |
过程路径Min | (20 x 20 x 20) µm α-Rotation 1° |
移动速度 | (20 x 25 x 10) mm/s α-Rotation 90°/s |
重量 | 75 kg |
尺寸 (L x W x H) | (1030 x 775 x 900) mm |